作者：李海霞,张国军,任勇峰 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2020年第08期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2020080100 DOC编号：DOCBDTQ2020080109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一台微电子机械系统(MEMS)电子听诊器，并应用于冠心病心音的检测中。首先，介绍了MEMS电子听诊器核心敏感单元微结构设计原理，并得出了ANSYS仿真环境中的应力和谐振频率均适用于检测心音信号的微结构尺寸；之后，对微结构进行加工制备和流固耦合封装，配合信号检测电路得到一台完整的MEMS电子听诊器用于检测冠心病心音信号。检测结果表明：所测冠心病心音时域波形的信噪比相比3M电子听诊器高8.2 dB。利用经验小波变换算法分解冠心病舒张期心音后得到三个模态频谱及对应频谱能量，经过数据统计对比发现，MEMS电子听诊器所测的冠心病不同舒张期心音的模态频谱能量较3M电子听诊器的具有更好的一致性和稳定性。

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