作者：陈宝杰,刘佳,贾平岗,梁庭,洪应平,熊继军 单位：中国兵工学会 出版：《测试技术学报》2020年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCSJS2020040090 DOC编号：DOCCSJS2020040099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文提出了一种基于光纤布拉格光栅(FBG)温度解耦方法的光纤法珀(FP)压力传感器，该传感器采用低温共烧陶瓷(LTCC)技术实现批量化制作.通过在膜片式压力传感器的基础上集成光纤布拉格光栅(FBG)，实现温度、压力双参数测量；提出温度解耦方法，对传感器进行温度补偿及压力测量结果的修正.实验结果表明，在20～300℃的温度范围内， FBG温度传感器的灵敏度为0.012 nm/℃，在160 kPa的压力范围内，压力测量灵敏度约为0.1μm/kPa， 3次重复实验的重复性误差和非线性误差分别约为5.6%和1.3%，温度系数为0.018μm/℃，压力灵敏度随温度变化为0.283 nm/(kPa&#183；℃)，同时，采用温度解耦方法，得到压力计算值与真实值最大偏差小于2.5 kPa。

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