作者：何成奎 单位：农业部南京农业机械化研究所 出版：《农业开发与装备》2020年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNJJY2020080230 DOC编号：DOCNJJY2020080239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微型化、集成化及智能化是当今科学技术的主要发展方向。随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)和微加工技术的发展，微型传感器也随之迅速发展。介绍了MEMS传感器概念及种类，并对其研究现状、应用领域进行了分析总结和介绍。最后，对MEMS传感器的一些发展趋势进行了论述和展望。

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