作者：张永威,谭秋林,张文栋 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2020年第09期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2020090070 DOC编号：DOCBDTQ2020090079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)湿度传感器，利用铜环辅助滴铸法在LiNbO_3表面制备氧化石墨烯薄膜作为湿度敏感层。建立了声表面波传感器叉指电极的三维传热模型，得到了基底表面相速度和温度灵敏度随切向的分布，对传感器的谐振频率和温度稳定性进行了优化。传感器静态和动态的实验结果表明，在10%RH～90%RH的湿度测量范围内，传感器的频移可达2.94 MHz，湿度灵敏度达36.8 kHz/%RH，具有良好的湿度-频率特性。传感器的响应和恢复时间分别为10.8 s和3.7 s，迟滞性误差不超过2%。此外，测试结果说明该传感器具备良好的可重复性和稳定性，在智能家居和工业湿度监测领域具有广阔的应用前景。

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