《靶丸内表面轮廓的白光共焦光谱测量技术》PDF+DOC
作者:唐兴,王琦,马小军,高党忠,王宗伟,孟婕
单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出版:《中国光学》2020年第02期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZGGA2020020090
DOC编号:DOCZGGA2020020099
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靶丸内表面轮廓是激光核聚变靶丸的关键参数,需要精密检测。本文首先分析了基于白光共焦光谱和精密气浮轴系的靶丸内表面轮廓测量基本原理,建立了靶丸内表面轮廓的白光共焦光谱测量方法。此外,搭建了靶丸内表面轮廓测量实验装置,建立了基于靶丸光学图像的辅助调心方法,实现了靶丸内表面轮廓的精密测量,获得了准确的靶丸内表面轮廓曲线;最后,对测量结果的可靠性进行了实验验证和不确定度分析,结果表明,白光共焦光谱能实现靶丸内表面低阶轮廓的精密测量,其测量不确定度优于0.1μm。
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