作者：许高斌,王超超,杨海洋,马渊明,陈兴 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2020年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2020020070 DOC编号：DOCYBJS2020020079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《SiC高温高量程MEMS加速度传感器的仿真与分析》PDF+DOC2015年第10期 陈艳香,石云波,智丹,杨志才,冯恒振 《具有静态响应能力的电容式加速度计》PDF+DOC1999年第02期 戴学斐 《加速度计技术》PDF+DOC1997年第05期 《基座应变对阻抗头的影响》PDF+DOC1985年第04期 庞景利 《MEMS传感器在高过载低量程测试中的应用》PDF+DOC2003年第S6期 翟成瑞,张文栋 《MEMS面内大量程加速度传感器设计与分析》PDF+DOC2011年第08期 赵锐,石云波,唐军,刘俊 《聚酰亚胺多模干涉器结构的加速度传感器》PDF+DOC2010年第02期 禹忠,蒋庄德,郑建邦,王海容 《平台式惯性测量系统车载试验设计》PDF+DOC2009年第01期 柳明,于志伟,苏宝库 《差分式MEMS面内加速度计设计》PDF+DOC2014年第07期 董胜飞,石云波,周智君,李策,李祥 《复合量程微加速度计封装的设计仿真与测试》PDF+DOC2013年第34期 闫明明,鲍爱达,郭涛

    • 针对工业装备振动监控对测振传感器的实际需要，设计了一种具有全方位抗过载结构的压电式加速度计，通过MATLAB对本征频率与灵敏度进行理论分析并做出结构参数优化设计，同时通过有限元分析软件ANSYS对所设计的传感器结构进行三维建模，添加力-电多物理场耦合等载荷进行静力、模态及动力等仿真分析，验证设计可行性，进一步确定结构参数，得出该结构压电式加速度计的本征频率、灵敏度及线性度仿真结果分别为29.8 kHz、0.2 m V/g和0.11%。

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