作者：张鹏,陈昱丞,张建,李玉霞 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2020年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2020050030 DOC编号：DOCYBJS2020050039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了研究电容式传感器电极表面有微结构对自身灵敏度的影响，设计了一种基于双层微结构电极的电容式压力传感器，其以表面溅射有导电金属的带有金字塔微结构的PDMS薄膜作为上下层电极。该方法设计的传感器能够明显地提高传感器的性能，灵敏度可达0.34 kPa~(-1)，是无微结构电极传感器灵敏度的17倍，具有低的检测极限(最低为20 Pa)、较快的响应时间(200 ms)和可靠的重复性。实验表明，该传感器能够实时快速地的检测外部压力的变化。

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