作者:Thomas Brand 单位:中国半导体行业协会 出版:《中国集成电路》2019年第12期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJCDI2019120260 DOC编号:DOCJCDI2019120269 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 对于各种各样的产品,制造过程需要高度精确和可靠的温度测量技术。通常通过与传感器直接接触来测量温度,例如通过将传感器浸入到液体中或通过与机器的表面接触来测量温度。除热敏电阻和热电偶之外,由于其快速响应时间和高达几百μV/℃的出色灵敏度,电阻温度检测器(RTD)尤其适用。它们也可用于-200℃至+800℃超宽范围内的测量,且具有近线性行为。RTD提供多种版本,例如2线、3线或4线版本,且具有高度应用灵活性。为了产生测量电压,RTD需要激励电流。根据

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