《基于法布里-珀罗效应的纳米有序多孔硅光学传感器研究》PDF+DOC
作者:马文锋,胡明,袁琳,李昌青,魏玉龙
单位:天津理工大学
出版:《天津理工大学学报》2016年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFTEAR2016040060
DOC编号:DOCTEAR2016040069
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利用电化学方法在N型0.01Ω·;cm单晶抛光硅片上制备纳米有序多孔硅,研究电流密度对其形貌及光学性能的影响;并通过对硅基体进行预处理达到消除多孔硅表面小孔硅的目的.结果表明,随着电流密度的增大,多孔硅的孔径、孔隙率以及光学厚度均增大.给经过预处理的硅基体施加75 m A/cm2的电流密度,多孔硅的表面孔径达到50 nm,与体孔径大小一致;在光学检测中对酒精溶液表现出良好的敏感性,检测浓度能够低至5×;10-5 mol/L。
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