作者：孟令俊,王梦宇,沈远,杨煜,徐文斌,张磊,王克逸 单位：中国物理学会 出版：《》 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWLXB2020010230 DOC编号：DOCWLXB2020010239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • tBtB光学微腔在高灵敏度传感中有着重要的应用前景，而在传感中热漂移是制约其走向实用的重要因素.本文提出了一种镀有三层膜结构的微球腔，可以在实现高灵敏度折射率传感的同时，具备内参考热补偿功能.该结构由内到外分别涂覆折射率为高、低、高的薄膜，内外两高折射率层可以分别支持各自的回音壁模式，称之为内层模式和外层模式.研究了波导耦合的内外模式在折射率传感和温度传感应用的表现.结果表明，中间膜层厚度为550 nm时，内外模式的折射率灵敏度分别为0.0168和102.56 nm/RIU，温度灵敏度分别为–19.57和–28.98 pm/K.通过监测内外模式谐振波长的差值进行传感，对中间膜层厚度进行优化，=400 nm时，折射率灵敏度为75.219 nm/RIU，探测极限可以达到2.2&#215；10~(–4) RIU，热漂移被减小到3.17 pm/K，极大地减小了热漂移对系统的影响.本研究可为微球腔折射率传感器的设计和改进提供指导。

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