作者：王凯,欧屹,曾石蔷,冯虎田,吴剑 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2020年第01期 页数：11页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2020010040 DOC编号：DOCGXJM2020010049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了实现滚珠螺母型面的快速精确测量，提出了激光测量方法并设计测量装置。首先，基于经直角棱镜反射的点激光轴向扫描的测量原理设计了螺母滚道型面检测装置，并根据滚道的数学模型提出轴法向转换的数据处理方法。然后，对直角棱镜的平移和转角误差、激光偏移误差、激光倾斜误差建立模型进行分析。最后，设计工装对标准钢球和圆槽进行扫描，并对螺母滚道开展实际测量。结果显示，完成误差标定后，经棱镜反射的点激光扫描圆弧轮廓的测量误差在3.1μm以内，标准差在2.2μm以内。对螺母滚道的扫描图像完整有效，总体精度满足螺母滚道型面的测量要求。

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