《叉指换能器形状对声表面波气体传感器谐振频率的影响》PDF+DOC
作者:曹艳
单位:北京自动测试技术研究所
出版:《电子测试》2019年第23期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFWDZC2019230130
DOC编号:DOCWDZC2019230139
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声表面波即沿着弹性固体表面传播的声波,由于声表面波对外界环境极为敏感,广泛用于各类物理量、化学量的测量。声表面波传感器具有高精度、高灵敏度、数字化、易批量生产、体积小、质量轻、功耗低等优势,且可实现无线无源传感,具有广阔的应用前景。文章分析研究了不同敷金比和不同电极厚度对器件性能的影响,实验表明敷金比和电极厚度越大,沉积效应就越显著,器件性能受其影响就越严重,因此,在设计、制造声表面波器件时需要着重考虑这两个因素。
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