作者:曹艳 单位:北京自动测试技术研究所 出版:《电子测试》2019年第23期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFWDZC2019230130 DOC编号:DOCWDZC2019230139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《铌酸锂声表面波气体传感器及其谐振频率的研究》PDF+DOC2019年第08期 曹艳 《基于延迟线理论的无源声表面波气体传感器》PDF+DOC2012年第04期 张昊,罗文广,于滢源,曹莹 《声表面波气体检测器》PDF+DOC1984年第S1期 A.Bryant,M.Poirier,D.L.Lee,J.F.Vetelino,谢蔚文 《S型声表面波质量传感器特性研究》PDF+DOC2005年第05期 章安良,朱大中 《带有温度检测的声表面波气体传感器》PDF+DOC2011年第02期 田爽,郝淑娟,赵军发,赵启大 《声表面波谐振型气体传感器的研究》PDF+DOC2010年第01期 赵路明,赵启大,廖继平,田爽,吕福云 《浅谈SAW气敏传感器的发展》PDF+DOC2006年第06期 孙海山,余愚,蒋永华 《声表面波气体传感器器件的设计》PDF+DOC2006年第02期 付曙霞,杨震夏 《声表面波气体传感器设计与制作》PDF+DOC2014年第08期 赵以贵,李维龙,张森 《声表面波气体传感器研究进展》PDF+DOC2013年第04期 何世堂,王文,刘久玲,刘明华,李顺洲
  • 声表面波即沿着弹性固体表面传播的声波,由于声表面波对外界环境极为敏感,广泛用于各类物理量、化学量的测量。声表面波传感器具有高精度、高灵敏度、数字化、易批量生产、体积小、质量轻、功耗低等优势,且可实现无线无源传感,具有广阔的应用前景。文章分析研究了不同敷金比和不同电极厚度对器件性能的影响,实验表明敷金比和电极厚度越大,沉积效应就越显著,器件性能受其影响就越严重,因此,在设计、制造声表面波器件时需要着重考虑这两个因素。

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