作者：刘凯强,余隽,唐祯安 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2015年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2015120020 DOC编号：DOCYBJS2015120029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 将微热板与静电梳齿执行器结合，设计出一种恒温加热状态下调节气敏薄膜(SnO_2)应力的系统结构。采用有限元软件(COMSOL Multiphysics)仿真分析了不同温度下器件的形变、气敏薄膜中的应力分布及其调节范围。仿真结果表明，气敏薄膜中的应力随着静电梳齿执行器驱动电压的升高而下降，成功实现对气敏薄膜中应力分布的调节，该结构可用于应力对薄膜气敏特性影响的研究。

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