《单根Sb掺杂ZnO微米线非平衡电桥式气敏传感器的制作与性能》PDF+DOC
作者:冯秋菊,石博,李昀铮,王德煜,高冲,董增杰,解金珠,梁红伟
单位:中国物理学会
出版:《》
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFWLXB2020030330
DOC编号:DOCWLXB2020030339
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通过使用化学气相沉积法,成功制备出超长、大尺寸的Sb掺杂ZnO微米线.基于非平衡电桥原理,利用单根Sb掺杂ZnO微米线作为非平衡电桥的一个桥臂,制作出了可以在室温环境下工作的气敏传感器原型器件.结果表明:室温下测得该传感器对20,50,100和200 ppm (1 ppm=10~(-6))不同浓度的丙酮及乙醇气体的响应-恢复曲线均呈现为矩形形状,在空气及被测气体中均有稳定的电流值,并随着探测气体浓度的增大,器件的响应值也在逐渐增加.此外,还发现器件对丙酮气体具有更好的选择性,当丙酮气体浓度为200 ppm时,该传感器的响应时间为0.2 s,恢复时间为0.3 s,响应度高达243%.通过与普通电导式气敏传感器对比发现,采用这种非平衡电桥结构传感器可以明显地提高响应度,使响应和恢复时间更快.此外,还研究了器件的气体探测机理。
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