作者：高晓丹,彭建坤 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2020年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2020010050 DOC编号：DOCBDTG2020010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 根据薄膜型光纤温度传感器的感温原理及光学薄膜的应力特性，利用膜层干涉的特征矩阵分析了传感元件的传感特性，建立了薄膜型光纤温度传感器的热应力特性及其对传感特性影响的理论模型。通过对薄膜和光纤的热光效应和热膨胀特性的分析，对比了蓝宝石光纤、纯硅芯光纤和普通多模光纤三种光纤基底的热应力-温度特性，设计了高温传感器传感探头的薄膜膜系，分析了膜系中每层膜的热应力-温度特性，以及临界载荷应力特性，确定所选光纤基底脱膜的临界应力值。通过模拟不同应力作用下的光谱传感特性，为传感器薄膜敏感探头的稳定性和可靠性提供理论依据和支持，提高传感器研制的效率。

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