《不锈钢压力传感器芯体研制》PDF+DOC
作者:盛文军,王志海
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2020年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2020040260
DOC编号:DOCCGQJ2020040269
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设计了基于硅应变片的不锈钢压力传感器芯体,作为压力敏感单元的不锈钢基体是基于机械加工工艺的一体结构,无焊缝,无橡胶圈,完全无工作介质泄露风险,同时利用高灵敏度的硅应变片将不锈钢敏感单元形变转换为电信号。通过搭建的测试系统,传感器芯体输出线性度最优达到0. 32%左右,性能指标优良。本传感器芯体经组装成为压力传感器,可以广泛应用于汽车电子和工业电子等各种场合,包括各种不锈钢兼容的腐蚀性介质环境。
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