《基于扩散硅压阻压力传感器的压差测量》PDF+DOC
作者:赵松玲,韩昕彤,桑艺珂
单位:江西省农业机械研究所;江西省农机化管理局;江西省农业机械学会
出版:《南方农机》2020年第04期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFNFLJ2020042140
DOC编号:DOCNFLJ2020042149
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《医用压力传感器原理及其应用》PDF+DOC2001年第06期 谢东
《压力传感器温度漂移补偿的应用分析》PDF+DOC2012年第01期 徐鹏,孙玲
《半导体高温压力传感器的研究》PDF+DOC1996年第02期 毛赣如,姚素英,曲宏伟,张维新
《新型压力测量方法及其电路》PDF+DOC1997年第11期 庄稼苗
《弹丸内壁压应力测试》PDF+DOC1994年第02期 姚竹亭,颜景龙,王宪朝
《横向压阻型压力传感器及其临床应用》PDF+DOC1986年第04期 鲍敏杭,王言,晋琦,吴宪平,顾菊康
《压力传感器新工艺及其动向》PDF+DOC1983年第04期 孙毓
《文摘》PDF+DOC1984年第01期 刘忠玉
《压阻传感器原理及应用》PDF+DOC2004年第05期 白旭
《介观压阻型微压力传感器设计》PDF+DOC2009年第02期 王伟,温廷敦
在力或压力(压强)传感器中,金属电阻应变片精度较高、性能较为稳定,被广泛应用。不过,这类传感器存在灵敏系数小的缺点,为了克服这一缺点,半导体应变片随之出现。用半导体材料制作而成的应变片称为压阻式传感器,其中,扩散硅压阻式压力传感器因具有频率响应高、精度高、灵敏度高、可靠性高等优点而被广泛采用。文章在扩散硅压力传感器具有压阻效应工作原理的基础上,借助扩散硅压阻式压力传感器的实训装置进行气压差的测量。
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