作者：刘小康,李昌伟,彭凯,于治成,冯济琴 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2019年第11期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2019110040 DOC编号：DOCYQXB2019110049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器。以增量式时栅传感器为基础，将单对极与多对极相结合，整周多对极作为精确测量部分实现高精度，整周单对极作为粗略测量部分实现绝对定位。提出了一种分时复用反射电极结构，粗测部分和精测部分共用一组反射电极和接收电极，因此结构更加紧凑，便于小型化，同时动子无需引线，应用环境更广。通过分时间段对粗测部分和精测部分施加激励信号，并把不工作的电极接地，可以有效消除粗测部分和精测部分之间的串扰，保证测量精度。采用PCB技术制造了外径Φ=60 mm，内径Φ=26 mm的传感器样机。通过理论分析和结构优化，最终实验结果表明传感器的测量精度达到了&#177；12″。

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