作者：吴超楠,郜晚蕾,邹杰,金庆辉,简家文 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2020年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2020040180 DOC编号：DOCCGQJ2020040189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于微机电系统(MEMS)技术，批量制备了一批高精度、小尺寸的电导率和温度集成微纳传感器，经测试，该传感器芯片尺寸仅为12 mm&#215；12 mm，温度灵敏度为0. 063℃/Ω，三次重复标定实验的变异系数CV为0. 6%，显示出良好的重复性。电导率传感器(R~2≥0. 999 99)和温度传感器(R~2≥0. 999)均具有良好的线性度。随机抽取一组传感器进行批量评估，电导池常数K的标准偏差为&#177；0. 019 cm~(-1)，显示出良好的一致性。该温度电导率微纳传感器尺寸小、成本低、批量制备一致性高，适用于大规模的海洋环境参数测量需求。

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