《基于MSM结构的表面等离子体共振光纤折射率传感器》PDF+DOC
作者:郭志勇,葛益娴,沈令闻,张鹏,顾钦顺
单位:中国电子科技集团第四十四研究所
出版:《半导体光电》2020年第02期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTG2020020120
DOC编号:DOCBDTG2020020129
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基于表面等离子体共振(SPR)效应,设计了一种基于多模-单模-多模(MSM)结构的光纤折射率传感器。采用光纤熔接的方式构成MSM结构,并且在单模光纤的表面涂覆二氧化钛/银(TiO2/Ag)复合膜构成传感单元。利用FDTD Solutions仿真分析了单模光纤长度与金属膜厚度对传感器性能的影响。结果表明:单模光纤长度越长,共振深度越深;TiO2/Ag复合膜中Ag膜厚度为50nm,TiO2膜厚度为20nm时,传感器性能最优,在1.33~1.41环境折射率范围内,传感器的灵敏度约为6 875nm/RIU。实验结果表明该光纤折射率传感器结构制作工艺简单、灵敏度高。
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