作者：严中稳,刘武,梁贺龙,许海军,訾鹏 单位：中国航空研究院 出版：《航空科学技术》2020年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKKX2020020100 DOC编号：DOCHKKX2020020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对精确测量飞行器流场速度分布的需求，本文提出并设计了一种基于Micro-Electro-Mechanical System(MEMS)技术的仿生纤毛矢量流速微传感器。该传感器主要由4组弯曲折叠梁、悬浮薄膜、多纤毛柱以及非对称梳齿电极对组成。运用解析法与有限元数值计算相结合的方法，分析得到所设计传感器的空气流速测量量程达到100m/s，分辨率优于0.01m/s。与已有的仿生纤毛流速微传感器相比，该传感器有望获得更大的量程和更高的分辨率。此外，还设计了微传感器的完整制备工艺流程。初步工艺试验验证了其可行性。

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