作者：戴瑞萍,胡加杨,李龙飞,王德波 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2019年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2019060260 DOC编号：DOCMINI2019060269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 热电转换效率直接影响热电式MEMS微波功率传感器的性能。着重对衬底掏空结构的热电式微波功率传感器进行了研究。将热电式微波功率传感器分成三个区域，建立了傅里叶模型，研究背面刻蚀的长度与厚度对热电堆热端温度的影响，发现热电堆两端温差与背面刻蚀的长度、厚度成正比。利用有限元仿真软件ANSYS，对不同刻蚀长度、厚度的传感器进行热学仿真。结果表明，背面刻蚀尺寸越大，热电堆两端的温差越大，传感器的灵敏度得到提高。仿真结果与模型结果具有较高的一致性，验证了模型的准确性。

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