作者：李伊梦,侯晓娟,张辽原,丑修建 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2020年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2020030050 DOC编号：DOCBDTQ2020030059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 柔性压阻式压力传感器是可穿戴健康监测系统和人机交互设备的重要组成部分。在实际应用中，对具有高灵敏度和宽线性范围的压阻式压力传感器的需求迫切。以石墨烯油墨为功能层、聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性材料，设计并制备了具有仿生银杏叶微结构的柔性压力传感器。利用扫描电子显微镜(SEM)表征了传感器的表面形貌。结果表明，仿生银杏叶表面的微结构包括平行叶脉和各种形状不一的凸起。该传感器具有1.56 kPa~(-1)的高灵敏度和22.6 Pa～20 kPa的宽线性范围，当施加不同的载荷时有明显的台阶现象，并且可以在10 000次的循环压力测试下保持稳定良好的性能。传感器的响应时间缩短至80 ms左右。此外，该压阻式压力传感器可用于检测人体关节的运动，表明其在健康监测和电子皮肤中应用潜力巨大。

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