作者：吉耀辉,李敏,马晓芳 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2020年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2020020090 DOC编号：DOCBDTQ2020020099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 位移传感器在工业、机械等领域具有重要的应用意义。提出了一种基于高温共烧陶瓷(HTCC)的无线无源LC位移传感器，通过传统的HTCC封装工艺以及共烧技术，将铂电子浆料集成于陶瓷基底上。传感器结构简单，易于制备且成本低廉。测试结果表明，传感器在0～30 mm的位移测试范围内响应良好，平均测试灵敏度为0.602 MHz/mm。传感器频率与位移呈现出良好的线性关系，线性度误差仅为3.09%。而且传感器重复性较好，在三次重复性实验中，最大测试绝对误差为0.038 9 MHz，最大相对测试误差为0.22%。此外，设计实验验证了传感器具有900℃高温下参数测试能力，并且可以在腐蚀性环境中实现信号提取。

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