作者：路晓,谭秋林 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2020年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2020010080 DOC编号：DOCBDTQ2020010089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对恶劣环境下航天发动机、涡轮机等旋转机械对叶尖间隙实时测量的需求，设计了一种用于涡轮发动机叶尖间隙测量的新型微波传感器。该传感器基于多嵌套式分裂环谐振器(NSRR)结构，将铂(Pt)金属浆料组成的闭环电路集成于高温共烧陶瓷(HTCC)中，以此来适应发动机及涡轮机内部的极端测试条件。经过仿真设计，可知传感器的工作频率为2.44 GHz，且在2.5～5 mm仿真间隙范围内最低灵敏度为8.33 dB/mm。通过传统的HTCC工艺及厚膜技术，对设计的传感器进行制备和测试，测试结果验证了仿真结果的正确性，表明该传感器能为所需应用环境提供准确可靠的数据。

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