作者：焦静静,石云波,赵永祺,张婕,米振国,康强 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2020年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2020020060 DOC编号：DOCYBJS2020020069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对微机械系统(MEMS)加速度计封装过程中引入的残余应力进行测量和分析。采用简支梁模型对有无残余应力下的传感器敏感结构进行挠度计算。最终使用拉曼光谱仪和霍普金森杆进行试验，验证了残余应力会降低加速度计的输出灵敏度，有效的封装能抵消部分芯片制作过程中的残余应力，提高传感器的灵敏度的结论。

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