作者：张钊,梅永松,张毅,滕艳华 单位：河北省科技咨询服务中心 出版：《》 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKJFT2020090210 DOC编号：DOCKJFT2020090219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文对微悬臂梁传感器在三类气体检测领域中的研究现状进行梳理，对微悬臂梁检测的工作原理和工作模式进行了叙述，并对该类传感检测技术的前景做了展望，为微机电系统中传感技术的应用研究提供参考。

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