作者:汪超男,李爱玲,周有铮,王喆垚,刘理天 单位:清华大学 出版:《清华大学学报(自然科学版)网络.预览》2009年第11期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFQHXW2009110340 DOC编号:DOCQHXW2009110349 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《表面应力敏感型压阻微悬臂梁传感器的模拟》PDF+DOC2009年第11期 汪超男,李爱玲,周有铮,王喆壵,刘理天 《微悬臂梁生化传感器在液体环境中的应用》PDF+DOC 张慧勇,潘宏青,张柏林,唐纪琳 《微悬臂梁传感器用于测量酵母菌弹性模量》PDF+DOC2016年第01期 徐文奎,黄海波,李相鹏 《微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器》PDF+DOC2015年第05期 热合曼·艾比布力,胡英杰,王同东,赵立波,赵玉龙,蒋庄德 《考虑表面应力的微悬臂梁质量传感器的建模与仿真》PDF+DOC2018年第02期 马树军,修强 《某型号液浮陀螺温度场分析》PDF+DOC2006年第04期 卜石,刘娜 《用有限元仿真计算压阻式MEMS压力传感器的输出》PDF+DOC2010年第08期 孙小龙 《基于MEMS技术梁膜结合压阻式加速度计的设计》PDF+DOC2009年第S1期 张玲,赵玉龙,蒋庄德,田边 《微梁传感研究谷胱甘肽转硫酶抗原抗体特异结合》PDF+DOC2007年第Z1期 薛长国,李凯,朱娟娟,张青川,刘红,伍小平,刘兢 《浅析微悬臂梁的应用》PDF+DOC2014年第07期 唐荣喜
  • 为获得用于表面应力测量的压阻悬臂梁传感器的参数的优化方法,建立了有限元分析模型。通过将模拟结果与压阻理论结合,分析了表面应力作用下的压阻式微型悬臂梁传感器。建立了两层硅悬臂梁结构模型,在顶层硅内施加初始应力模拟表面应力。对仿真结果应力数据进行提取与计算,结合压阻系数,分析了n型硅压阻与p型硅压阻长度、宽度和位置等对微型悬臂梁传感器灵敏度的影响。结果表明:为获得较高灵敏度,n型硅压阻应做长,p型硅压阻应做短并安排在固定端。该文研究结果为悬臂梁生化传感器提供了设计参考。

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