作者：黄哲琳,冯勇建 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006051310 DOC编号：DOCCGJS2006051319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 主要介绍了利用硅?硅键合技术制作的微型电容式温度传感器的温度效应，给出了详细的制作工艺.文中对测试装置进行了详细介绍和深入分析.最后对制作的传感器器件进行了测试，并对测试结果进行分析.结果表明这种微传感器的温度影响需要校正，否则影响传感器的的线性工作范围。

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