作者：张天恒,周启武,王阳阳,郑永 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2020年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2020010160 DOC编号：DOCCGJS2020010169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在工业现场，角位移传感器校准受特殊条件的限制，很难用标准器进行密集误差采样来提高精度。针对该问题提出了一种稀疏误差采样及补偿方法。在分析时栅角位移传感器的感应信号的基础上，提出稀疏采样第1个对极内细分误差+对极点零位误差的测补方式，给出用激光干涉仪获取零位和细分误差的方法及采用稀疏采样的误差补偿模型进行补偿的具体过程。以72对极时栅角位移传感器为对象进行研究，实验结果表明：该方法充分剔除了零位误差且补偿了细分误差，在稀疏采样的条件下即可实现整周范围的有效补偿，大大提高了修正效率和测量精度，时栅传感器的精度达到2.69″。

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