《电子束辐照改性二氧化锡传感器件的敏感特性》PDF+DOC
作者:李珍,刘岩岩,吴明红,焦正,赵兵
单位:中国科学院上海应用物理研究所
出版:《核技术》2008年第11期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHJSU2008110080
DOC编号:DOCHJSU2008110089
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研究了电子束辐照对二氧化锡(SnO2)半导体气敏传感器的气敏性能影响。结果表明,随着电子束辐照剂量的增加,SnO2传感器对氢气、乙醇的灵敏度和选择性系数逐渐增加,传感器的响应和恢复时间逐渐缩短。考察了电子束辐照前后SnO2传感器稳定性。利用元件表面吸附理论分析了电子束辐照改性SnO2气敏传感器气敏性能的机理。
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