作者：王淑华 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2011年第08期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2011080090 DOC编号：DOCBDTQ2011080099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS智能传感器技术的新进展》PDF+DOC2019年第01期 赵正平 《一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器》PDF+DOC2015年第04期 何洪涛,王伟忠,杜少博,胡立业,杨志 《MEMS传感器的发展现状及应用综述》PDF+DOC2016年第03期 郝旭欢,常博,郝旭丽 《在先进移动设备上应用MEMS传感器》PDF+DOC2012年第02期 Jay Esfandyari,Paolo Bendiscioli,Gang Xu 《用于先进移动装置的MEMS传感器》PDF+DOC2011年第08期 Jay Esfandyari,Paolo Bendiscioli,Gang Xu 《MEMS遇见传感器,改变生活就此开始》PDF+DOC2013年第10期 李健 《微电子机械系统的进展与应用前景》PDF+DOC2001年第10期 王长河 《微电子机械系统的研究进展》PDF+DOC2001年第01期 李炳乾,朱长纯,刘君华 《微型组合导航系统中的传感器野外标定方法》PDF+DOC2012年第06期 何昆鹏,于玖成,何应云 《MEMS传感器整合解决方案》PDF+DOC2011年第11期 Jay Esfandyari,Roberto De Nuccio,Gang Xu

    • MEMS传感器种类繁多，发展迅猛，应用广泛。首先，简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次，对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述，包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品，及应用情况。介绍MEMS压力传感器时，给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。最后，从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。

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