作者：韩冰,高超 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》2012年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC2012020030 DOC编号：DOCHKJC2012020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 光纤F-P腔压力传感器因其独有的优点广泛应用于军事、民用领域。国内外诸多高校、科研院所都在对其进行研究。本文介绍了光纤F-P腔压力传感器的研究进展，对全光纤结构F-P压力传感器、激光加工微型光纤压力传感器、二氧化硅膜片压力传感器的结构和制作过程进行了总结，并对利用MEMS制作压力传感器的工艺进行了详述，对比分析了不同加工工艺下传感器的性能及其优缺点。

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