作者：马奎,李大宗 单位：河北省农业机械化研究所;河北省农机学会 出版：《河北农机》2013年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHBNJ2013020530 DOC编号：DOCHBNJ2013020539 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS器件具有重量轻、体积小、功耗低等优点，可以很好地满足各种电子设备的要求，将MEMS的微型传感器用于检测相关参数的功能，已经成为各个领域发展的主要方向之一。与传统的传感器相比，微型传感器具有许多新特性，它能够弥补传统传感器的不足，具有广泛的应用前景。文中详细绍了MEMS压力传感器件的结构、原理和使用方法，以及MEMS压力传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。

    📙 相关资料

    1. 《基于MEMS技术的微型传感器》PDF+DOC 和传统的传感器相比，微型传感器具有许多新特性，它们能够弥补传统传感器的不足，具有广泛的应用前景，越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理，说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。...
    2. 《微机电系统(MEMS)的测量热点》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)经10年的实际应用，已证实可批量生产，首先在压力传感器和加速度计方面获得成功，以其体积小巧和灵敏度高，在许多应用中代替传统的压力传感器和加速计，例如用于汽车防撞气囊，产量每月超过一百万支。随着时间的推移，出现速率传感器、陀螺、射频开关、光学开关和化学/生物MENS，亦即进入传统......
    3. 《自动补偿式压力测量仪》PDF+DOC 文中设计了一种带有温度补偿的压力测量显示仪表，并能根据实际需要灵活设定测量压力的上限值，超限时自动显示报警。...
    4. 《X型横向压阻式硅压力传感器》PDF+DOC 本文介绍一种新型压力传感器的基本结构、特性参数，提供了三种简单的温度补偿线路，以扩宽传感器的工作温度范围．最后还介绍了一种波传感器的应用实例。...
    5. 《微型多晶硅膜电容式压力传感器的研制》PDF+DOC 目前使用较为广泛的扩散硅压阻式压力传感器，是利用半导体硅的电阻率随应力变化的性质而制成的.由于电阻器间的PN结隔离，使这种传感器温度稳定性较差，应用时...
    6. 《MEMS传感器的真空密封技术》PDF+DOC 文章介绍了MEMS传感器的几种真空密封方法，提出了一种真空密封方法的设想。...
    7. 《振动筒式压力传感器》PDF+DOC 本文介绍了振动筒式压力传感器的结构，讨论了它的工作原理和温度误差及其补偿，并讨论了振动筒式压力传感器在飞机上的应用。...
    8. 《微型传感器在汽车中的应用》PDF+DOC 本文简要分析了目前微型传感器在汽车中的应用情况，并对下一步的发展趋势进行了预测。...
    9. 《矿用压力传感器敏感元件温度漂移补偿技术》PDF+DOC 压力传感器敏感元件温度漂移是矿用压力传感器漂移的主要原因，文章列举了几种多晶硅压力传感器的温度漂移补偿方法，并分别讨论了它们的原理及特点，指出了更适合矿用压力传感器敏感元件的温度补偿方法。...
    10. 《基于单晶硅的压阻效应的超小型压力传感器》PDF+DOC 利用单晶硅的压阻效应原理，采用先进的半导体平面工艺、微机械加工工艺、温度补偿及固态集成工艺研制了一种超小型压力传感器。该传感器采用敏感元件与信号处理电路一体化结构，产品在制作过程中经过严格的工艺检验和环境性能试验。证明具有体积小、精度高、稳定性好、测量范围宽等特点，可以广泛用于石油、冶金、化工、航空......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。