作者：肖丽仙,何永泰,彭跃红,刘晋豪 单位：中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版：《电子元件与材料》2014年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZAL2014070130 DOC编号：DOCDZAL2014070139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 结合岛膜结构电容式压力传感器高灵敏度和凹槽结构电容式压力传感器较好线性度的优点，设计了一种倒岛膜凹槽电容式压力传感器，并根据其结构特点建立了倒岛膜凹槽电容式压力传感器的理论模型，使用FEA(有限元分析)法分析了传感器的电容-压力特性。结果表明，设计的倒岛膜凹槽电容式压力传感器具有较好的测量特性，其测量灵敏度和线性度分别为0.005 12 fF/Pa和0.981 78。与相同设计参数的岛膜或凹槽电容式压力传感器相比，该传感器较好地缓解了测量灵敏度和线性度之间的矛盾问题。

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