作者：汪蓓蓓,黄云志,刘永洪 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2014年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2014070250 DOC编号：DOCCGJS2014070259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 材料内部不同损伤具有不同的介电特性，利用平面电容传感器可以实现无损检测。平面电容传感器电极位于同一平面，敏感场非均匀分布，电极结构是影响传感器敏感场分布的主要因素。研究敏感场分布特性有助于提高传感器测量精度。本文基于有限元研究了不同电极结构的平面电容传感器，仿真结果表明，矩形叉指电极敏感场分布均匀性好。分别优化矩形叉指电极和圆形电极结构参数，并基于PCB工艺研制传感器用于材料损伤检测。实验验证了平面电容传感器用于材料探伤的有效性，且矩形叉指电极传感器测量效果优于圆形电极。

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