《PPB级锆基安培型NO气体传感器性能的研究》PDF+DOC
作者:朱卫学,金涵,朱丽娜,张帆,简家文
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2015年第11期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2015110040
DOC编号:DOCCGJS2015110049
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采用丝网印刷技术制备了以In2O3为敏感电极的锆基安培型三电极NO传感器用以探测10-9级NO气体。用X射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)对该传感器进行了理化分析;通过测量其在不同温度和不同NO浓度的气氛中的伏安特性曲线和时间响应曲线,研究了传感器的电流输出信号和NO浓度的关系以及时间响应特性。实验表明:在350℃~500℃测试温度范围内,极化电压为-60 m V,NO浓度变化为0~900×;10-9时传感器响应电流的变化值Δcurrent和NO浓度之间存在较好的线性关系并且传感器在400℃时响应值最大。在被测气体总流量为100 cm3/min时,传感器信号90%的响应和恢复时间分别为18 s和12 s。传感器信号不受CO2浓度变化的影响,传感器的响应信号在测试时间里具有较好短期稳定性,但长期稳定性有待进一步提高。本文还采用阻抗谱分析方法对传感器的响应机理进行了初步的探索。
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