作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2015年第09期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2015090260 DOC编号：DOCCGSJ2015090269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本发明提供了一种电容式压力传感器和惯性传感器集成器件及其形成方法，该器件包括：半导体衬底；覆盖该半导体衬底的外延层，该外延层下方的压力传感器区域内的半导体衬底中具有空腔；位于外延层上的第一介质层；位于第一介质层上的第一导电层；位于第一导电层上的第二介质层；位于第二介质层上的第二导电层，空腔上方的第二导电层被图形化为多个并列的电容极板，惯性传感器区域的第二导电层被图形化为可动质量块；位于第二导电层上的电极层，压力传感器区域的电极层被图形化为压力传感器布线，惯性传感器区域的电极层被图形化为惯性传感器压点区。本发明将电容式压力传感器和惯性传感器集成在同一器件中，使得芯片面积更小，成本更低。

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