作者:张杰,荆振国,李昂,彭伟 单位:中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所 出版:《中国激光》2016年第10期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJJZZ2016100320 DOC编号:DOCJJZZ2016100329 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍了一种结构简单的熔接式全石英光纤非本征型法布里-珀罗干涉仪(EFPI)高静压传感器,对传感器的压力效应进行了理论分析,给出了传感器的设计结构和制作过程。和传统EFPI传感器相比,该传感器具有长腔长、结构简单、制作工艺简易、应用灵活方便等优点,可以用于较高静态压力的测量。建立了传感解调系统,对压力进行了测试,测量精确度高,稳定性好。同时进行了温度敏感度测量实验,温度敏感系数约为0.72nm/℃,传感器的腔长温度线性度好,结果显示传感器温度交叉敏感度低。在0~20 MPa压力测量范围内,该传感器的压力腔长灵敏度可以达到21nm/MPa,连续10h动态测量条件下,测量偏差为0.2%FS。

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