作者：杜彬 单位：山西省电子工业科学研究所;山西省电子学会 出版：《山西电子技术》2018年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSXDS2018060070 DOC编号：DOCSXDS2018060079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 通过设计一个量程为15万克、抗过载为20万克的抗高过载能力的MEMS加速度传感器，分析了多种传感器的利弊，选择压阻式加速度传感器作为研究对象。创建该加速度传感器结构的力学模型，然后在模型上分析其结构的应力、频率及阻尼进行分析，完成结构参数的优化及确定。在ANSYS环境下，通过对结构的静态和模态仿真分析了该传感器的测量范围、安全系数、抗过载性能、频率响应及响应时间，确保该结构在20万克过载环境下可以安全可靠的工作。同时，根据静态应力仿真结果进行压敏电阻位置及结构参数的优化[1]。

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