作者：王鹏,杨帆,王楠,王明武,梁应选 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2020年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2020010050 DOC编号：DOCYBJS2020010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • MEMS压阻式加速度传感器是目前最常见的测振器件之一。在某些特殊环境下，加速度信号组成较为复杂，例如机床主轴振动测试系统，可能有多方向加速度信号同时施加到传感器，这就要求设计的传感器具有较低的横向效应，即较小的横向交叉干扰，因此文中研制了一种可以从理论上消除传感器自身横向交叉干扰的MEMS压阻式加速度传感器。文中采用新型的复合八梁结构作为传感器的敏感元件模型，并利用敏感结构上的应力分布规律优化传感器的信号检测电路，从理论上消除了传感器的横向交叉干扰；通过MEMS加工技术加工了传感器的芯片结构，并进行了封装和相关性能测试实验。实验结果表明，所设计的传感器具有不超过1%的横向交叉干扰，1.798 m V/g的测量灵敏度以及14 kHz的固有频率。

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