作者：彭杰纲,周兆英,叶雄英 单位：中国科学院力学研究所;中国力学学会 出版：《力学进展》2005年第03期 页数：16页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLXJZ2005030070 DOC编号：DOCLXJZ2005030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数.近年来，随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展，传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度，微型化，高精度，高可靠性方向发展，同时生命科学的发展大大促进了用于微流体，生物学、医学、卫生、食物等学科研究新型微型流量传感器的研究开发，微型流量传感器已成为MEMS的重要研究方向.本文对基于MEMS技术的流量传感器技术的原理、分类作了简要介绍，归纳和评述了各种基于MEMS技术的流量传感器(热式型，差压型，升力型，流体振动型，科里奥利型及仿生型微型流量传感器等)的生产工艺和应用特点，并对基于MEMS技术的微型流量传感器的校正方法做了总结归纳.介绍了国内在微型流量传感器方面的研制工作.最后总结归纳出基于MEMS技术的流量传感器发展不同阶段并阐述了各个阶段的发展特点，并对基于MEMS技术的流量传感器新的发展趋势进行了展望。

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