《一种用于湿度监测的LC无线无源传感器的制备与测试》PDF+DOC
作者:吕文,谭秋林
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2019年第03期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2019030080
DOC编号:DOCBDTQ2019030089
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提出了一种采用丝网印刷和亚胺化工艺制备的LC无线无源技术的二硫化钼(MoS2)/聚酰亚胺(PI)湿度传感器。对比了不同超声时间下的二硫化钼/聚酰亚胺复合材料的湿度敏感性能,得出对湿度最灵敏的材料为超声4 h的二硫化钼/聚酰亚胺材料。测试结果表明,制备的器件在量程10%RH~95%RH内具有较好的频率响应,频率变化值为6.205 MHz;在高湿度范围内(60%RH~95%RH),传感器的灵敏度可达153.59 kHz/%RH。此外,该传感器的响应和恢复时间分别为7.2 s和10.4 s,迟滞性误差约为5%RH且具有较好的稳定性。该传感器可广泛应用于化学合成和矿井环境等领域的湿度监测。
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