作者：李方清,李龙飞,王德波 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2020年第01期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2020010230 DOC编号：DOCMINI2020010239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 与传统的硅阻型压力传感器、陶瓷型压力传感器相比，石墨烯压力传感器具有测量灵敏度更高、测量范围更广的优点。对几种石墨烯压力传感器的研究进展进行综述。根据制作工艺的不同，将石墨烯压力传感器分为单层型和多层型。根据两大类型，列举最近六种石墨烯压力传感器的基本制作过程和测量范围、检测灵敏度等特性。根据六种石墨烯压力传感器的对比结果，得到单层型与多层型石墨烯压力传感器的不同工作特性及应用环境。针对单层型和多层型石墨烯传感器，分别提出提高性能的可行方案，对此类传感器的实际应用与推广具有一定的指导意义。

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