作者：魏喜雯 单位：山东省工业和信息化研究院 出版：《山东工业技术》2016年第06期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSDGJ2016060260 DOC编号：DOCSDGJ2016060269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机械加工技术是在集成电路技术基础上研发出来的新兴技术，其在人们的生活和工作的不同领域中都发挥了非常重要的作用，因此受到了学术界和社会的普遍推崇与认可。不仅如此，其他发达国家也对微机械加工技术投入了大量的研究资金，由此看出微机械加工技术的确受到了大众的关注与欢迎。本文主要以微机械加工技术在传感器中的应用为研究重点，分析了其中存在的问题，希望为这一技术的应用提供借鉴信息。

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