作者：张严 单位：陕西电子杂志社;陕西省电子技术研究所 出版：《》 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDDJ2016010360 DOC编号：DOCXDDJ2016010369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器》PDF+DOC2015年第04期 何洪涛,王伟忠,杜少博,胡立业,杨志 《一种新型MEMS温度传感器》PDF+DOC2011年第09期 时子青,陈向东,龚静,李秀梅 《一种压阻式三轴加速度传感器的设计》PDF+DOC2006年第05期 孙剑,赵玉龙,苑国英,蒋庄德,徐敬波 《基于LabVIEW设计的建筑压阻式压力传感器校准系统的设计与实现》PDF+DOC2017年第02期 牛萍萍 《封装残余应力对MEMS加速度计输出特性影响》PDF+DOC2020年第02期 焦静静,石云波,赵永祺,张婕,米振国,康强 《功能梯度材料MEMS研究现状》PDF+DOC2019年第08期 熊鹏,戴文杰 《力敏传感器芯片设计分析》PDF+DOC2000年第01期 沈桂芬 《MEMS压力传感器原理及其应用》PDF+DOC2012年第S1期 曹乐,樊尚春,邢维巍 《基于硅桥的新型甲醛气体传感器的研究》PDF+DOC2011年第01期 郭辉辉,陈向东,杜广涛,姚尧,李辉 《一种新型硅压阻式流速流向传感器的设计》PDF+DOC2007年第08期 魏泽文,秦明,黄庆安

    • 运用压阻式的基本原理和MEMS技术共同应用于海洋湍流传感器中。首先分析MEMS传感器的基本原理，重点研究了对MEMS传感器性能的实验测试。在风洞实验中，设计有风没风交替作用于传感器和不同风速下作用于传感器的实验；在水下实验中，设计了不同流速下水流作用于传感器的实验。通过实验能够得到MEMS传感器在不同响应下的结果。

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