《声表面波传感器温度频率特性的数值分析》PDF+DOC
作者:李莺歌,马连湘,张娜,袁世魁,杜东兴
单位:中国化工学会
出版:《化工学报》2016年第S1期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHGSZ2016S10220
DOC编号:DOCHGSZ2016S10229
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利用ANSYS软件对声表面波传感器进行温度频率特性的数值模拟研究。分析了在一定压力情况下,基于氮化铝压电薄膜铝叉指换能器的延迟型传感器结构内部的温度有限元分布情况。结果表明外界自然对流对传感器内部的温度场及应力场分布影响很小。并模拟计算出温度与输出串联谐振频率变化的关系,通过数据拟合得出,SAW传感器的输出谐振频率与环境温度变化呈良好的线性关系,因此可应用于温度的精确测试。
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