作者：王伟忠,张建志,何洪涛,杨拥军 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2016年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2016040070 DOC编号：DOCBDTQ2016040079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对高铁、飞机等高速运行设施对动态压力监测提出的要求，研制了一种压阻式微电子机械系统(MEMS)超薄动态压力传感器。采用有限元分析(FEA)软件ANSYS对5种压力传感器芯片结构进行了仿真对比分析，结合MEMS加工工艺，设计的传感器芯片采用线性好、灵敏度高、固有频率高的单岛膜结构。利用硅通孔(TSV)技术对传感器抗冲击、防水、可靠性等性能进行了优化设计，采用硅微MEMS工艺加工了动态压力传感器芯片，并完成了传感器的超薄封装，最终厚度为0.9~1 mm。对传感器的基本性能、耐冲击、防水特性进行了测试，结果表明传感器的基本性能良好，非线性度为0.076%满量程输出(FSO)，灵敏度为0.23 mV/kPa/V，非重复性为0.041%FSO，并且可抗20 000g冲击，达到5级防水。

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