作者：徐军,孙国东,余耀,王禹,马静 单位：东北大学 出版：《控制工程》2016年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJZDF2016100280 DOC编号：DOCJZDF2016100289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用石英晶体热敏新切型(ZY切型)和音叉结构，设计了一种工作于弯曲振动模式，输出为频率信号的数字温度传感器。针对温度传感器的要求，对石英晶体双旋切角的频率温度特性和机电耦合系数进行分析，确定热敏切型，使其具有较高的频率温度系数和机电耦合系数。对石英音叉结构和振动模式进行有限元仿真分析，优化传感器结构，并采用微机械加工技术制作音叉。实验结果表明，该传感器谐振频率对温度极其敏感并具有良好的频率温度线性关系，在0&#176；C到100&#176；C的测温范围内，频率温度系数为70&#215；10~(-6)&#176；C~(-1)，分辨力为0.002&#176；C，测温精度为&#177；0.05&#176；C，低功耗小于0.03μw。

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