《基于LTCC技术的微型FAIMS生化气体传感器制备》PDF+DOC
作者:王涛龙,梁庭,王心心,张瑞,刘雨涛,熊继军
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2016年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2016030030
DOC编号:DOCYBJS2016030039
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陶瓷具有稳定的电特性、机械鲁棒性、化学惰性和超强的可塑性,因而得到广泛的应用。采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺技术和新型屏蔽电极的设计实现生化气体传感器的制备。气体传感器采用高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)原理,通过丝网印刷技术来实现迁移电极、屏蔽电极、测试电极等功能器件的安置,并且在气流通路中填入碳膜(印刷碳浆料)有效地防止了层压中气流通路的坍塌,保证了气流通路上下极板的平整,使得所制传感器的功能精度得到了有效的保证,避免了器件间的封装、引线外连,为生化气体传感器的稳定工作奠定基础。
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